大型等離子清洗機 中型等離子清洗機 臺式等離子清洗機
產品描述
中型等離子清洗機:
主要應用於LCD、LED、連接器、鍵合前等大規模生產領域。
特點:所有元器件及核心部件採用進口,保証了整機的穩定性和使用壽命。
真空泵採用進口旋片泵,是適用於等離子工藝環境使用的可長時間工作的體系,在抗氧化、耐腐蝕等諸多方面積累了豐富的經驗,使泵的壽命大大提高,並有效降低了泵的維護成本,泵的各項保護措施完善,提高了長時間工作極限,泵油為耐高溫、抗氧化油,泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系,無需水冷。泵體內置於機櫃內部,使機器緊湊,佔地面積小。
控制方式:自動控制系統採用PLC加觸摸屏控制,所有工藝參數、工藝過程實時監控,並顯示運行狀態、報警記錄和工藝曲線記錄、工作時間記錄,適合維護,可以提供工藝參考。
標準型號:QT-60-PSP、QT-80-PSP、QT-100-PSP、QT-120-PSP、QT-150-PSP。
◎可存儲50組工藝配方,隨意調用。
◎清洗時間、潔淨壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設定可調。
◎工藝參數受密碼保護,分級密碼管理查詢。
◎一鍵完成全自動工藝,實時故障報警、非法操作提示、清潔結束提示等。
◎自動提醒系統維護、更換真空泵油等,避免機器過載、過老化情形下工作,延長使用壽命。
◎氣體質量流量計採用美國進口,由模擬輸入輸出,量程為0~200sccm可在量程範圍內無級調節,根據特殊的工藝要求可用PLC可對質量流量計進行PID調節而實現真空度的控制。
◎根據特殊的工藝要求可使用干泵,尾氣處理設備,油過濾器,過濾返油裝置等。電極結構(專利)的高等離子通量設計能很好地提高等離子體地均勻性及穩定性。
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