型號: | DF |
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品牌: | 精誠華旗 |
原產地: | 中國 |
類別: | 工業設備 / 電子電氣產品製造設備 |
標籤︰ | 擴散爐 , 氧化擴散爐 , 氧化爐 |
單價: |
-
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最少訂量: | 1 台 |
即時通訊: | 最後上線︰2014/08/18 |
產品應用:應用於集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領域,適用2~8英吋工藝尺寸
產品特點:
◆主機為水平一至四管爐系統構架,獨立完成不同的工藝或相同工藝
◆工業計算機控制系統,對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制
◆採用懸臂送片器:操作方便、無摩擦污染等
◆關鍵部件均採用進口,確保設備的高可靠性
◆工藝管路採用進口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染(管路均採用EP級電拋光管路),流量控制採用質量流量計(MFC)進口
◆控溫精度高,溫區控溫穩定性好;
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能
◆高質量的加熱爐體,確保恆溫區的高穩定性及長壽命
主要技術指標
1、工藝說明
1.1氧化:干氧工藝,濕氧工藝(去離子水、氫氧合成-內/外點火)
1.2擴散:硼擴、磷擴(液態源、固態源等)
1.3合金、退火等工藝
2、系統組成:主機(加熱體、石英/SiC管、功率組件等)、自動送片(懸臂-SiC)淨化工作台、氣路氣源系統(氣源櫃)、計算機控系統等組成
3、控制方式:手動送片/自動送片
4、配置(可選):
4.1儀表控制/計算機控制
4.2工藝管(水平結構):1-4管
4.3工藝規格:2~6英吋晶圓或125mm×125mm、156mm×156mm太陽能電池片(工藝腔體為石英或碳化硅)
4.4恆溫區長度:1100mm/800mm/600mm/450mm
4.5晶圓裝載:懸臂式,剛玉/碳化硅杆,碳化硅槳
4.6工作台:有淨化/無淨化
4.7工藝氣路:對應的工藝氣路,氣路閥門組件採用國際優質品牌產品(如SWAGELOK、PARK、SANDVIK、CARDINAL等等),MFC國際優質(如MKS、UNIT、STEC等)或國產優質
5、主要技術參數:
5.1工作溫度:200~1300℃
5.2加熱體控制點:3/5點
5.3爐體恆溫區:450mm/600mm/800mm/1100mm
5.4恆溫區精度:>800℃/±0.5℃ ,<800℃/±1℃
5.5單點溫度穩定性:600~1300℃/ ±0.5℃/24h
5.6最大可控升溫速度:15℃/min
5.7最大降溫速度:5℃/min(900~1300℃)
5.8供電:三相四線,380VAC/50HZ
6、 結構尺寸:
6.1 結構:水平擴散爐
垂直擴散爐
6.2尺寸結構如圖(參考)