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四氟化碳 1
  • 四氟化碳 1

四氟化碳

型號:-
品牌:世源氣體
原產地:中國
類別:化工 / 無機原料 / 工業氣體
標籤︰四氟甲烷 , 四氟化碳 , R14
單價: -
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廣州市譜源氣體有限公司

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產品描述

產品名稱:四氟化碳,四氟甲烷
http://www.51qiti.com/files/product332.htm
四氟化碳分子式:CF4
分子量:88.01
CAS號:75-73-0
氣體純度:四氟化碳>99.999%,氮氣< 5 ppm,氧氣< 2 ppm,總烴< 1 ppm,一氧化碳< 1 ppm,二氧化碳< 1 ppm,水< 2 ppm,
四氟化碳包裝:40L鋼瓶,30kg/瓶,32kg/瓶。閥門型號:CGA660,或CGA580、CGA590。或按客戶要求。
四氟化碳性質:在常溫下,四氟化碳是無色無臭無味氣體。熔點-150℃(-184℃),沸點128℃,密度1.96g/cm3,臨界溫度-45.67℃,臨界壓力:3.74MPa,介電常數:1.0006(25℃,0.5MPa)。揮發性較高,是最穩定的有機化合物之一,在900℃時,不與鋼、鎳、鎢、鉬反應,僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1MPa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時, 會分解產生有毒氟化物。
四氟化碳用途:四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,高純四氟化碳及其高純氣和高純氧氣的混合氣,可廣氾應用於硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄 膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、洩漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。

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四氟化碳 1
圖 1

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