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產品應用：為 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備，應用於半導體行業、太陽能電池行業、生物工程、醫藥衛生、武器仿真等領域

產品簡介：
氣瓶櫃/氣瓶架採用國際通行的質量標準及工作原理，保証高純易燃易爆腐蝕有毒氣體安全地為相應的設備提供工藝氣體。
功能：正常工藝供氣、換瓶的抽空回充、工藝結束的排空回充及正常使用的工作狀態指示、異常報警（如負壓異常、洩露、煙霧火等等）及相應的安全關聯響應等。排空一般採用的是文丘里原理（根據客戶要求可採用真空泵排空方式等）。
氣瓶櫃裝有安全防爆玻璃，氣路管件均採用進口優質的管道（EP級SWAGELOK自動軌道焊接等）、閥門、VCR接口均採用SWAGELOK、 PARK及APTECH ，洩漏檢測、延誤火報警均採用優質品牌。

主要技術特點
◆按瓶數分類：單瓶櫃（架）/二瓶櫃（架）/三瓶櫃（架）/四瓶櫃（架）
◆按氣體分類：氣瓶櫃（易燃\易爆\腐蝕\有毒\高純氣體）、氣瓶架（高純氣體，如高純氧氣、氬氣等）
◆完善的安全報警裝置，具有氣體洩漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等洩漏報警）、煙霧、火報警等
◆控制方式：“觸摸屏+PLC”全自動控制（含手動控制）
◆氣路管件：全部進口，管道為EP級（CARDINAL/SANDVIK）、 閥門焊接頭為 SWAGELOK或相當、減壓閥為PARK或相當、全部VCR接口及自動軌道焊接
◆氣瓶櫃留有排氣口，並具有負壓檢測
◆氣路設計合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能
◆氣瓶櫃內裝有氣瓶稱重裝置，可即時觀察氣瓶重量