型號: | - |
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品牌: | 華旗科技 |
原產地: | 中國 |
類別: | 電子、電力 / 其它電力、電子 |
標籤︰ | 太陽能電池PECVD , LPCVD , HVPE |
單價: |
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最少訂量: | 1 件 |
最後上線︰2014/08/18 |
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主要用於在125mm×125mm或156mm×156mm太陽能硅片上澱積氮化硅減反射鈍化膜。
產品特點: ◆送片方式:懸臂/軟着陸(推薦) ◆進口射頻電源、壓力控制系統、進口乾泵等。 ◆進口數控鈑金機床加工,整機結構合理,媲美進口同類設備。 ◆全面滿足用戶的技術指標要求,突出產品的穩定性,一致性。 ◆工控機自動控制系統,工藝過程參數顯示、修改、記錄等,操作更加直觀便捷; ◆設備操作方便,模塊化設計,使用及維護方便; ◆方便的溫區調整方式(或自動溫區調整)更加快捷; ◆高質量的加熱爐體,確保恆溫區的高穩定性及長壽命。 主要技術指標: ◆工藝片數:125mm×125mm/256片/批,156mm×156mm/216片/批 ◆爐體口徑:適應石英管外徑φ400mm ◆工作溫度範圍:150~500℃ ◆恆溫區長度及精度:1100mm/±1.5℃ ◆懸臂式送料裝置: 50mm/min~900mm/min連續可調 ◆壓力控制範圍:100~300Pa(閉環連續可調) ◆極限真空度:1Pa ◆反射膜均勻性:片內≤±4%,片間≤±4%,批間≤±5% ◆沉積均勻性:≤±5% ◆內置的Profile TC 實時顯示工藝過程恆溫區內前、中、后三點的實際溫度 |