產品描述
URE-2000/35型紫外光刻機
技術特征
1,採用專利技術——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應和實現均勻照明;
2,採用三爪和球氣浮同時找平,無論大片、小片調平精度均高;
3,具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能;
4,自動分離對準間隙和消除曝光間隙,間隙分離可達500μm;
5,高倍率雙目雙視場顯微鏡和22英吋寬屏液晶顯示同時觀察對準過程,並提供USB輸出;既滿足高精度對準,又可用於檢測曝光結果,且曝光結果和方便存儲;
6,電機機構、彈性元件和傳感器保証接觸曝光壓力合適且重複性好;
7,曝光波長採用純淨365nm,冷光照明(曝光面能量15mW/cm,溫度小於30度);
8,對準完成,自動消除曝光間隙,無橫向漂移且可通過監視器觀察;
9,快門可以單獨開啟,也可以數字設定自動倒計時曝光(設定範圍0.1s-9999s);
10,採用350W進口(德國)直流汞燈,可調節光的能量密度;
11,汞燈具有高亮度和“待機”兩種方式,即曝光時採用高亮度照明,而不曝光時採用低亮度的“待機”,從而延長了汞燈壽命。
12,設備外形美觀精製,性能非常可靠;
13,上下片、版十分方便,自動化程度很高,操作簡便。對高校教學科研(可靠性好,演示方便)及工廠(效率高)成為適宜。
二.技術參數
1,曝光面積:100mm×100mm;
2,分辨力:≤1mm(膠厚2mm的正膠);
3,對準精度:±0.8mm;
4,掩模樣片整體運動範圍:X:6mm;Y:6mm;
5,掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸;
6,樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm(可適應非標準片或碎片)、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);
7,照明均勻性:±3-4%(Ф100mm範圍);
8,掩模相對於樣片運動行程:X:±5mm; Y:±5mm; q: ±6度;
9,汞燈功率:350W(直流);
10,曝光波長:365nm;
11,曝光能量密度:≥ 15mW/cm;
12,曝光方式:定時(到計時方式0.1s—9999s)
產品圖片
圖 1
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