產品描述
NorthStar ALD 系統
l NorthStar ALD系統提供各種澱積方法，包括熱澱積以及能量增強澱積。
l 每台設備可以提供多達8個先驅源管路以及一個熱壁澱積腔，使其應用範圍極為廣氾。
l 設備的快速艙口蓋或裝載室（可選件）使樣品操作快捷方便。
l NorthStar ALD系統不但能跟其他設備連接起來，還能連接多種測量儀器。
l 原位測量工具以及RoboALD軟件自動化系統提高了工藝的再現性。
l 可以直接升級至超高真空
l 提供工藝演示以及工藝培訓服務
產品圖片
圖 1
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