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真空磁控濺射鍍膜機MRC603 1
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真空磁控濺射鍍膜機MRC603

型號:MRC603
品牌:MRC
原產地:美國
類別:工業設備 / 電子電氣產品製造設備
標籤︰薄膜電池 , 真空濺射 , 進口鍍膜
單價: ¥1280000 / 件
最少訂量:1 件
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深圳市昊光机电科技应用有限公司

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產品描述


1、設備名稱:MRC603真空濺射鍍膜機


2、設備品牌:美國MRC


3、設備規格:MRC603


4、設備介紹:


MRC603採用獨特的立式結構設計及特殊結構的陰極,可實現高濺射,膜厚均勻性和高靶材有效使用率,從研發應用到大批量生產,可沉積介質膜、金屬膜等,主要用於集成電路製造、平板顯示器、光刻掩膜版、通訊網絡、化合物半導體器件、射頻功率器件和光電子器件等。


本系統可分為預真空室、濺射區域、RF離子清洗,預真空室具有基片承載盤昇降機,使得裝卸基片和濺射工藝同時進行,從而實現 “in-line”連續在線工作方式。12”x12”尺寸的基片承載盤,可放置不同尺寸及形狀的基片。94”基片/次,66”基片/次,112”基片/次。


產品圖片

真空磁控濺射鍍膜機MRC603 1
圖 1

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