產品描述
INFICON PEG100/PEG100-D/PEG100-P潘寧規提供了可靠的高真空測量。無高真空燈絲。由於等離子點火的鈦陰極板和高電壓降低，潘寧規也可以應用在陰極濺射鍍膜工藝上。在總線的選擇方面，除了對數的模擬輸出信號輸出外還有便於集成到真空系統的Profibus DP或DeviceNet協議輸出
■測量範圍廣：5 X 10 -7～1 Pa
■全金屬冷陰極陶瓷傳感器
■新型幾何電極提供了極好的點火性能
■降低等離子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣
■陽極環和鈦陰極可清洗，更換容易
■最小磁場強度測量
■ LED指示燈電源和等離子點火
■對數模擬輸出信號
■ Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統的網絡通信
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