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臭氧發生器是用於制取臭氧的設備裝置。臭氧易於分解無法儲存需現場制取現場使用（但是在特殊的情況下是可以進行短暫時間的儲存），凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發生器。臭氧發生器在自來水，污水，工業氧化，空間滅菌等領域廣氾應用。 　　

臭氧是世界公認的廣譜高效殺菌消毒劑。採用空氣或氧氣為原料利用高頻高壓放電產生臭氧。臭氧比氧分子多了一活潑的氧原子臭氧，化學性質特別活潑，是一種強氧化劑，在一定濃度下可迅速殺滅空氣、液體中的細菌。沒有任何有毒殘留，不會形成二次污染，被譽為"最清潔的氧化劑和消毒劑"。 　　 　　

其反應的化學方程式為3O2====2O3

臭氧發生器常用的氣源大體可分為下列幾種： 　　 

1）乾燥空氣氣源--無油的壓縮空氣經過冷卻、乾燥、過濾處理后作為原料氣使用； 　　 

2）富氧氣源--無油壓縮空氣經過冷干處理送入PSA空分系統將氮氣和氧氣分離，並將氧氣收集作為 原料氣（此原料氣含有惰性氣體和二氧化碳及少量氮氣，並非純氧氣所以稱為富氧源）； 　　 

3）工業氧氣源--通常使用瓶裝工業氧氣（大多適用於小型臭氧發生器）； 　　 

4）液氧--液態氧經過汽化器汽化減壓后送入臭氧發生器作為原料氣（常用於大型臭氧發生器）。 

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