產品描述
URE-2000系列光刻機
型號：17
二、主要技術指標：
1、曝光面積：ф100mm；
2、分辨力： 1.7µm（膠厚2 µm的正膠）；
3、對準精度： ±1µm；
4、掩模樣片整體運動範圍：X：6mm;Y:6mm；
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch；
6、樣片尺寸：直徑ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
7、照明均勻性：±6%（ф100mm 範圍）；
8、掩模相對於樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°；
9、汞燈功率：200W（直流）；
10、曝光波長：365nml
11、曝光能量密度：6mW/cm (420nm以上波長小於0.2mW/cm )l
12、曝光方式：定時（到計時方式）
13、外形尺寸：650mm（長）´600mm(寬)´900mm（高）
產品圖片
圖 1
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