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臭氧是世界公認的廣譜高效殺菌消毒劑。採用空氣或氧氣為原料利用高頻高壓放電產生臭氧。臭氧比氧分子多了一活潑的氧原子臭氧，化學性質特別活潑，是一種強氧化劑，在一定濃度下可迅速殺滅空氣中的細菌。沒有任何有毒殘留，不會形成二次污染，被譽為“最清潔的氧化劑和消毒劑”。其反應的化學方程式為3O2====2O3

臭氧發生器氣源：

　　A、乾燥空氣氣源-無油的壓縮空氣經過冷卻、乾燥、過濾處理后作為原料氣使用；

　　B、富氧氣源--無油壓縮空氣經過冷干處理送入PSA空分系統將氮氣和氧氣分離，並將氧氣收集作為原料氣（此原料氣含有惰性氣體和二氧化碳及少量氮氣，並非純氧氣所以稱為富氧源）；

　　C、工業氧氣源--通常使用瓶裝工業氧氣（大多適用於小型臭氧發生器）；

　　D、液氧--液態氧經過汽化器汽化減壓后送入臭氧發生器作為原料氣（常用於大型臭氧發生器）。

臭氧濃度：

小型臭氧發生器使用g/h為單位，大型臭氧發生器使用kg/h為單位區分規格的大小。

　　1g臭氧的適用空間：每克臭氧在不同標準的適用空間:（臭氧使用標準）

A、賓館房間、家庭辦公室（三十萬級以上）---50-100立方

　　 B、食品醫藥車間（三十萬級）---25立方

　　 C、食品醫藥車間（十萬級）---12立方

　　 D、食品醫藥實驗室車間（萬級）---6立方

E、醫院無菌病房、管道（百級）---3立方