產品描述
產 品 說 明 |
自動平衡隔振平台 自動水平光學平台
HGPT-C自動平衡精密光學隔振平台特點:
HGPT-C自動平衡精密光學隔振平台是在HGPT-B型光學隔振平台的基礎上增加自動平衡功能, 採用空氣伺服系統, 自動調整水平,台面的高度由空氣調節閥在桌面運動的激勵下維持和控制,把系統對微振的響應反饋到系統中, 改變隔振特性,當負載沿工作表面移動或發生突然變化時能夠使台面自動維持水平.瞬間達到初始的平衡狀態,提高光學隔振平台的隔振效果
HGPT-C自動平衡精密光學隔振平台主要參數:
·平面不大於0.05mm/m²
·表面粗糙度小於0.8um
·固有頻率垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz
·振幅不大於1.2um
·重複定位精度±0.05mm
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產品圖片
圖 1
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