AE pinnacle plus+ 10k脈衝直流電源
產品描述
AE PINNACLE PLUS+ 10K脈衝直流電源
Pinnacle® Plus 系列Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus 電源為單體直流脈衝電源，為您的反應工藝提供脈衝直流電解決方案所有優點，包括使用簡單、節約成本以及具有絕佳的靈活性。結合標準直流電技術和經過工藝証明的脈衝直流電技術，Pinnacle Plus 電源與複雜而昂貴的交流電解決方案相比，沉積率更高，重複性能更好，薄膜質量更為優異。優勢:
●更高的沉積率與產品率
●薄膜均勻性和品質一流
●成弧造成的基材損坏減少
●成本更低
●系統整合容易
●極佳的工藝靈活性和寬容度
●重複性能
●在過度曲線上運行穩定
●吞吐量更高
●便於監控
●無與倫比的系統靈活性特點:
●一個緊湊型封裝
●頻率調節範圍為 5-350kHz
●占空比高達45%
●電壓範圍寬——單輸出寬阻抗範圍
●大功率運行
●基材溫度低
●單輸出（5kW 和 10kW 型號）
●用於雙陰極生產的雙輸出（雙路5kW 型號）
●絕佳的弧控制
●反應性濺射閉環控制規格：
●輸出功率：5KW單輸出、5KW雙輸出、10KW單輸出
●電壓範圍：325-650VDC，可選325-800VDC輸出（寬Z）
●輸出功率接頭：五個終端、DIN壓縮接頭；最大電線尺寸：＃6 AWG
●輸出接頭：兩個終端、多個觸點、帶有應力釋放功能的可插入式接頭或UHF接頭
●最大電流：
15.4ADC；15.4ADC/輸出；30.8ADC
●頻率：5到350KHz，可變
●反向電壓：工作電壓的10%
●點火功能：最大1500VDC，正常1350VDC
●調節模式：功率、電壓或電流
●交流線電壓：200/208、400或480VAC
●電流：5KW：200/208VAC：標稱值17A/Φ
400VAC：標稱值8.5A/Φ
480VAC：標稱值7.5A/Φ
5KW雙輸出/10KW單輸出200/208VAC：標稱值35A/Φ
400VAC：標稱值17A/Φ
480VAC：標稱值15A/Φ
●尺寸：133×483×639mm（高×寬×長）
產品圖片
圖 1
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