| 型號： | SCG |
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| 品牌： | semishare |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 分析儀器 |
| 標籤︰ | 探針台 , 測試 , 儀器 |
| 單價： |
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| 最少訂量： | - |
| 最後上線︰2021/11/17 |
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低溫和高溫真空探針台 SEMISHARE真空環境高低溫測試技術 以下兩個應用需要真空測試環境。 極低溫測試: 因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，並且保持整個測試過程泵的運轉。 高溫無氧化測試： 當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，並且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，並且保持整個測試過程泵的運轉。 晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，SEMISHARE針座位於腔體外部。我們也可以選擇使用操作杆控制的自動化針座來調整探針的位置。
SCG-C-4(閉循環)/SCG-O-4(開循環)特點： |
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載物Chuck 溫度範圍：4.2K-480K 外置4個定位針臂 探針X-Y-Z三方向移動，行程：25mm，定位精度：10微米 最多可以外置6個定位針臂 載物chuck 最大可到2寸 雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度 針臂定位精度可以升級為0.7微米 極限真空到10-10 torr 可以選擇射頻配件做最高67 GHz的射頻測試 可以選擇防震桌 可以選擇超高真空腔體 客戶訂製 |
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溫控規格:
機械規格
光學部件規格
可選附件 防震桌 方形chuck 分子泵組 Chuck可外部移動裝置 客戶定製。 |
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