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BROOKS流量計  1
  • BROOKS流量計  1

BROOKS流量計

型號:-
品牌:-
原產地:美國
類別:電子、電力 / 儀器、儀表 / 流量儀表
標籤︰流量計 , MFC , 質量流量計
單價: -
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北京邦联成科技有限公司

免費會員北京市海淀区
最後上線︰2020/09/09

產品描述

 BROOKS流量計5850E

流量範圍

相當于03 sccm03000 sccm氮氣(N2)的範圍

SEMI(半導體設備和材料協會)標準壓力和溫度(0ºC101kPa)條件下測得

注:滿程流量範圍大於50 sccm

性能:校準后為滿量程±1%,大於20slpm時為滿量程±1.5%。

可重複性:0.25

控制範圍:501

安裝狀態靈感度:復零后,比指定精確度誤差不到±0.5%量程。

溫度敏感度:零點:小於±0.075%量程每攝氏度

量程:比最初校準刻度小±1.0%量程(在1050攝氏度)

壓力敏感度:±0.03%每psi200psig(N2)

輸出電壓:05伏直流(200K歐姆的輸出電阻)

輸出信號:輸出05伏直流到2000歐姆或更高的負荷

           輸出5±0.1伏直流(參考),最大負荷2000歐姆

最大操作壓力:1500psig ;5-50psid壓損(最小壓損根據氣體和週圍環境具體而定)

溫度、外界/氣體:41149ºF565ºC

完全洩漏,外界:1×10-9cc/s

功率要求:常閉閥(或常開閥/流量2.5slpm

            3.5瓦特,直流15伏◎35mA,-15@180mA

            常開閥/流量>2.5slpm

            10.5瓦特,直流15伏◎350Ma,-15@350mA

構造材質:

標準接液部分採用不鏽鋼材質,可供選擇的還有;KalrezBuna-N

連接:

硬件連接:標準9/1618UNF不鏽鋼壓力接頭(Swagelok),可選:VCOVCR

電氣連接:卡連接器(鍍金)或D型連接器(DA15P


產品圖片

BROOKS流量計  1
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