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氧化物陶瓷濺射靶材：氧化鋁靶材  (Al2O3)，氧化銻靶材(Sb2O3)，氧化銻摻錫靶材(ATO)，鈦酸鋇靶材(BaTiO3)，氧化鉍靶材(Bi2O3)，氧化鈰靶材(CeO2)，氧化銅靶材(CuO)，氧化鉻靶材(Cr2O3)，氧化鏑靶材(Dy2O3)，氧化鉺靶材(Er2O3)，氧化鉺靶材(Eu2O3)，氧化釓靶材(Gd2O3)，氧化鎵靶材(Ga2O3)，氧化鍺靶材GeO2)，二氧化鉿靶材(HfO2)，氧化鈥靶材(Ho2O3)，氧化銦靶材(In2O3)，氧化銦錫靶材(ITO)，三氧化二鐵靶材(Fe2O3)，四氧化三鐵靶材(Fe3O4)，氧化鑭靶材(La2O3)，鈦酸鉛靶材(PbTiO3)，鋯酸鉛靶材(PbZrO3)，鈮酸鋰靶材(LiNbO3)，  鐵酸镥靶材(Lu3Fe5O12)，氧化镥靶材(Lu2O3)，氧化鎂靶材(MgO)，氧化鉬靶材(MoO3)，氧化釹靶材(Nd2O3)，氧化鐠靶材(Pr6O11)，鈦酸鐠靶材(Pr(TiO2)2)，氧化鐠靶材(Pr2O3)，氧化釤靶材(Sm2O3)，氧化鈧靶材(Sc2O3)，二氧化硅靶材(SiO2)，一氧化硅陶瓷靶材(SiO)，鈦酸鍶陶瓷靶材.

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