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ATON 1600 磁控濺射鍍膜流水線 1
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ATON 1600 磁控濺射鍍膜流水線

型號:ATON 1600
品牌:AMAT
原產地:美國
類別:工業設備 / 二手機械設備
標籤︰AMAT , ATON 1600 , SIN鍍膜
單價: -
最少訂量:1 件
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產品描述

1、設備名稱:ATON 1600 真空磁控濺射鍍膜線

2、產地:美國應用材料公司

3、功能:該系統專門針對光伏太陽能所需要的SIN層鍍膜設計,分為7個真空室:進料室、緩衝室、傳輸過渡室、濺射室1+濺射室2、傳輸過渡室、緩衝室、出料室。系統整體設計嚴格,採用分子泵高真空機組,配備高濺射效率的平面靶或旋轉靶,採用直流濺射。

設備也可以應用在ITO膜、SIO2膜、金屬膜,應用於如太陽能、LOW-ELED等行業。

4、簡要介紹:

4.1、主體結構:7組真空箱體,連續式

4.2、真空泵組:分子泵、高真空系統

4.3、濺射部分:4個陰極濺射

4.4、工件尺寸:12600*800最大尺寸

4.5、配套設施:外圍所需配套齊備

4.6、控制方式:全自動過程及工藝控制

 


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ATON 1600 磁控濺射鍍膜流水線 1
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