| 型號： | ATON 1600 |
|---|---|
| 品牌： | AMAT |
| 原產地： | 美國 |
| 類別： | 工業設備 / 二手機械設備 |
| 標籤︰ | AMAT , ATON 1600 , SIN鍍膜 |
| 單價： |
-
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| 最少訂量： | 1 件 |
| 即時通訊: | 最後上線︰2020/08/29 |
1、設備名稱：ATON 1600 真空磁控濺射鍍膜線
2、產地：美國應用材料公司
3、功能：該系統專門針對光伏太陽能所需要的SIN層鍍膜設計，分為7個真空室：進料室、緩衝室、傳輸過渡室、濺射室1+濺射室2、傳輸過渡室、緩衝室、出料室。系統整體設計嚴格，採用分子泵高真空機組，配備高濺射效率的平面靶或旋轉靶，採用直流濺射。
設備也可以應用在ITO膜、SIO2膜、金屬膜，應用於如太陽能、LOW-E、LED等行業。
4、簡要介紹：
4.1、主體結構：7組真空箱體，連續式
4.2、真空泵組：分子泵、高真空系統
4.3、濺射部分：4個陰極濺射
4.4、工件尺寸：12600*800最大尺寸
4.5、配套設施：外圍所需配套齊備
4.6、控制方式：全自動過程及工藝控制
