型號: | ATON 1600 |
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品牌: | AMAT |
原產地: | 美國 |
類別: | 工業設備 / 二手機械設備 |
標籤︰ | AMAT , ATON 1600 , SIN鍍膜 |
單價: |
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最少訂量: | 1 件 |
最後上線︰2020/08/29 |
1、設備名稱:ATON 1600 真空磁控濺射鍍膜線
2、產地:美國應用材料公司
3、功能:該系統專門針對光伏太陽能所需要的SIN層鍍膜設計,分為7個真空室:進料室、緩衝室、傳輸過渡室、濺射室1+濺射室2、傳輸過渡室、緩衝室、出料室。系統整體設計嚴格,採用分子泵高真空機組,配備高濺射效率的平面靶或旋轉靶,採用直流濺射。
設備也可以應用在ITO膜、SIO2膜、金屬膜,應用於如太陽能、LOW-E、LED等行業。
4、簡要介紹:
4.1、主體結構:7組真空箱體,連續式
4.2、真空泵組:分子泵、高真空系統
4.3、濺射部分:4個陰極濺射
4.4、工件尺寸:12600*800最大尺寸
4.5、配套設施:外圍所需配套齊備
4.6、控制方式:全自動過程及工藝控制