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晶圓玻璃平面度檢測儀特點：

·激光平面度測量儀採用全伺服閉環控制，全自動測量功能；

·空間面補償，保証機器的高精度；全花崗石結構，高精度花崗石底座，立柱，保証機器的長期穩定性；

·精密絲杠傳動，高速，無間隙，靈敏可靠，定位準確，運動精度高；

·激光通州哦自動測量儀採用專利三度空間燈光照明系統：在面對某些特殊被測量物時，可利用不同的光線效果以凸顯被測物的特性以更精準地抓取尺寸並達到高重複精度的上光源精準測量功能；

·高分辨率彩色CCD，高清晰度影像效果，高品質的畫面；

·鼠標操控全CNC功能：自動對焦，自動量測，自動尋邊，自動燈光調整，自動倍率切換，保証測量高效率。

·平整度測量儀具有七海業界領先的專業版測量軟件EF系列供選擇搭配。

晶圓玻璃平面度檢測儀適用行業：

可對研磨完畢的安全閥閥座閥瓣進行平面度度進行測量。廣氾應用於餐飲、電子、機械五金零件、電鍍、汽車、航空、國防武器、鐘錶、玻璃制品、特種陶瓷、機械密封、化纖、醫療器械、液晶光學、珠寶、軸承等眾多行業領域。

晶圓玻璃平面度檢測儀技術參數：

·光柵尺分辨率：0.5μm

·測量精度：XY（3+5L/1000)μm

·控制方式：自動

·攝像機：1/3" 彩色CCD攝像機，520TV線

·光源：輪廓光LED冷光源，亮度連續可調

        表面光LED冷光源，亮度連續可調

·總放大倍率：100X（光學放大倍率為2倍）

·選配功能：七海16向全視角旋轉燈源系統

        七海12段自動變焦鏡頭

        激光位移感測系統

·工作距離激光：37mm/鏡頭65mm

·電源：220V±10%，50Hz（用電設備要求接地可靠：接地電阻小於4歐姆）

·工作環境：20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr ，濕度45%~75%，振動<0.002g，低於15Hz