硅片甩干機

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最後上線︰2014/06/28

設備概述:

硅片甩干機是由該系列機型具有高潔淨度旋轉沖洗甩干功能。主要用於硅圓片、掩模版、太陽能電池等類似材料的沖洗甩干。

1甩干機機型
雙工作腔結構，最大加工片子直徑φ150mm。S為雙片盒結構.

2系統構成

整機採用雙工位（或單工位）層疊、積本式組合結構，每個工位可獨立運行互不干擾。能實現包括旋轉沖洗、氮氣烘乾、電阻率監控、防靜電控制、腔體乾燥、故障顯示報警、系統潔淨化處理在內的全自動工藝處理過程。

3結構原理與特點

(1)潔淨化處理技術 ⑵ 大功率無刷電機驅動

⑶ 清洗工作腔體 ⑷ 轉軸氮氣密封技術

⑸ 去離子水控制 ⑹ 防靜電控制

⑺ 防震、隔震技術 ⑻ 測速、計數控制技術

⑼ 制動控制技術 ⑽ 系統控制技術

⑾ 工藝處理軟件 ⑿ 顆粒控制性能

⒀ 安全及防護處理 ⒁ 門位置狀態監控與互鎖

⒂ 生產技術

蘇州華林科納半導體設備技術有限公司

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