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2KW射頻匹配器 1
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2KW射頻匹配器

型號:2KW
品牌:國產GMPOWER
原產地:中國
類別:電子、電力 / 電源和配電設備 / 開關電源
標籤︰國產射頻電源 , 射頻電源專業維修 , 射頻電源技術服務
單價: ¥1000 / 件
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北京研拓科技有限公司

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產品描述

 由國內外提供技術,國內生產的GMPOWER品牌射頻自動匹配器,廣氾適用於等離子刻蝕體、鍍膜、清洗、等離子體增強、感應加熱以及太陽能製造設備PECVD製造中,具有功率覆蓋範圍大(50W-5KW)、匹配時間短(≤3秒)、指示功能全、操作簡單等優勢,可通過數字接口實施計算機數據採集和控制,輕鬆實現時入射功率、反入射功率、直流偏壓等的精確測量。

該匹配器與電源完全獨立,可配置AE、COMDEL、MKS、微電子中心等多家品牌的射頻電源,最大限度節約射頻系統成本。   

產品描述:

*功率:1KW/2KW5KW 頻率:13.56MHz

*系統採用高速配算法,即使系統處於高Q值也可在接近匹配點時減速,達到精確匹配效果

*標準配置採用可調的L型匹配網絡,滿足絕大部分負載要求,也可根據客戶負載陰抗設計配置匹配網絡,實現自動匹配

*內置數字功率計,可現實入射功率、反射功率、指示精度3%,有效彌補國內電源功率指示不標準問題

 由國內外提供技術,國內生產的GMPOWER品牌射頻自動匹配器,廣氾適用於等離子刻蝕體、鍍膜、清洗、等離子體增強、感應加熱以及太陽能製造設備PECVD製造中,具有功率覆蓋範圍大(50W-5KW)、匹配時間短(≤3秒)、指示功能全、操作簡單等優勢,可通過數字接口實施計算機數據採集和控制,輕鬆實現時入射功率、反入射功率、直流偏壓等的精確測量。

該匹配器與電源完全獨立,可配置AE、COMDEL、MKS、微電子中心等多家品牌的射頻電源,最大限度節約射頻系統成本。   

產品描述:

*功率:1KW/2KW5KW 頻率:13.56MHz

*系統採用高速配算法,即使系統處於高Q值也可在接近匹配點時減速,達到精確匹配效果

*標準配置採用可調的L型匹配網絡,滿足絕大部分負載要求,也可根據客戶負載陰抗設計配置匹配網絡,實現自動匹配

*內置數字功率計,可現實入射功率、反射功率、指示精度3%,有效彌補國內電源功率指示不標準問題

                                    2KW無顯示

電源輸出

AC180-240V 50Hz

冷卻方式

強制風冷

輸出電流

0.5A

機箱尺寸

390mm(長)*260mm(寬)*132.5(高)

射頻功率範圍

0-2KW

重量

10.5kg

射頻工作頻率

13.56MHz

 

 

射頻輸出接頭

N型或UHF型

 

 

射頻輸出接頭

N型/UHF型/銅帶型

 

 

用戶接口

DB15針接口,採用RS232、RS485通訊協議

 

 


產品圖片

2KW射頻匹配器 1
圖 1

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