型號: | 2KW |
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品牌: | 國產GMPOWER |
原產地: | 中國 |
類別: | 電子、電力 / 電源和配電設備 / 開關電源 |
標籤︰ | 國產射頻電源 , 射頻電源專業維修 , 射頻電源技術服務 |
單價: |
¥1000
/ 件
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最少訂量: | 1 件 |
即時通訊: | 最後上線︰2022/02/16 |
由國內外提供技術,國內生產的GMPOWER品牌射頻自動匹配器,廣氾適用於等離子刻蝕體、鍍膜、清洗、等離子體增強、感應加熱以及太陽能製造設備PECVD製造中,具有功率覆蓋範圍大(50W-5KW)、匹配時間短(≤3秒)、指示功能全、操作簡單等優勢,可通過數字接口實施計算機數據採集和控制,輕鬆實現時入射功率、反入射功率、直流偏壓等的精確測量。
該匹配器與電源完全獨立,可配置AE、COMDEL、MKS、微電子中心等多家品牌的射頻電源,最大限度節約射頻系統成本。
產品描述:
*功率:1KW/、2KW、5KW 頻率:13.56MHz
*系統採用高速配算法,即使系統處於高Q值也可在接近匹配點時減速,達到精確匹配效果
*標準配置採用可調的L型匹配網絡,滿足絕大部分負載要求,也可根據客戶負載陰抗設計配置匹配網絡,實現自動匹配
*內置數字功率計,可現實入射功率、反射功率、指示精度3%,有效彌補國內電源功率指示不標準問題
由國內外提供技術,國內生產的GMPOWER品牌射頻自動匹配器,廣氾適用於等離子刻蝕體、鍍膜、清洗、等離子體增強、感應加熱以及太陽能製造設備PECVD製造中,具有功率覆蓋範圍大(50W-5KW)、匹配時間短(≤3秒)、指示功能全、操作簡單等優勢,可通過數字接口實施計算機數據採集和控制,輕鬆實現時入射功率、反入射功率、直流偏壓等的精確測量。
該匹配器與電源完全獨立,可配置AE、COMDEL、MKS、微電子中心等多家品牌的射頻電源,最大限度節約射頻系統成本。
產品描述:
*功率:1KW/、2KW、5KW 頻率:13.56MHz
*系統採用高速配算法,即使系統處於高Q值也可在接近匹配點時減速,達到精確匹配效果
*標準配置採用可調的L型匹配網絡,滿足絕大部分負載要求,也可根據客戶負載陰抗設計配置匹配網絡,實現自動匹配
*內置數字功率計,可現實入射功率、反射功率、指示精度3%,有效彌補國內電源功率指示不標準問題
2KW無顯示 |
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電源輸出 |
AC180-240V 50Hz |
冷卻方式 |
強制風冷 |
輸出電流 |
0.5A |
機箱尺寸 |
390mm(長)*260mm(寬)*132.5(高) |
射頻功率範圍 |
0-2KW |
重量 |
10.5kg |
射頻工作頻率 |
13.56MHz |
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射頻輸出接頭 |
N型或UHF型 |
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射頻輸出接頭 |
N型/UHF型/銅帶型 |
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用戶接口 |
DB15針接口,採用RS232、RS485通訊協議 |
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