型號: | SP-8000 |
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品牌: | 湘潭宏鋒機械 |
原產地: | 中國 |
類別: | 工業設備 / 通用機械 / 泵及真空設備 |
標籤︰ | ITO玻璃鍍膜機 , ITO玻璃生產線 , ITO玻璃真空生產線 |
單價: |
¥10000000
/ 件
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最少訂量: | 1 件 |
最後上線︰2022/03/25 |
連續性ITO導電玻璃磁控濺射生產線
1) 真空室體材料採用 SUS304 ,真空室內壁進行拋光處理,外壁採用拋光后噴珠處理。
2) 真空室之間採用獨立門閥—插板閥隔開,可以實現有效隔斷,穩定工藝氣體。目前我們公司採用插板閥設計,它比目前國內通用的翻板閥密封效果更好,更耐用。
3) 傳動採用磁導向,保障傳動的穩定性。整條生產線的各段速度採用變頻調速電機驅動,運行速度可調節。
4) 電氣控制系統:觸摸屏與 P L C 自動控制,人機對話方式來實現系統的數據顯示、操作與控制技術參數
1) 極限真空壓力:6× 1 0E-4 Pa
2) 平均生產週期:根據產品確定
3) 基片架尺寸:可以根據要求定做
4) 膜層均勻性: ± 3%先進的移動磁場技術大大提高了靶材利用率
分段式加熱設計,有利於工藝優化。