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質量流量計常用於需要精確測量氣體流量的系統。艾里卡特M系列數字式/模擬式質量流 量計是一款精密、可重複、可定製化、被設計用於各種不同應用的質量流量計，採用層流壓差技術保証了速度極快的線性測量，默認的標準功能包括：200：1量程可調比，可精確測量滿量程兩百分之一的流量；內置30種氣體可選，為客戶減少由於氣體種類多樣性而造成的不必要的庫存；多功能的按鈕操作數字顯示屏，為用戶提供了無需任何專用通訊系統或軟件的操作界面。
產品優勢
Alicat的M系列數字式/模擬式質量流量計滿足並超越用戶對於質量流量計的需求:
操作簡單
Alicat 質量流量計(M系列)作為一臺獨立設備，帶有多功能數字顯示屏，用戶可通過面板按鈕調節參數，無需連接但腦或其他任何複雜的編程軟件。
測量精確
標準型Alicat 質量流量計(M系列)的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，增加高精選配項則可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性價比
Alicat 質量流量計(M系列)本身耗電極小，從而降低了系統運營的成本，且相比與同類產品，其壓損亦相對較小，降低壓損意味着更多氣體進入到系統中，而不是停留在測量儀器中。除質量流量外，M系列質量流量計還可同時測量體積流量、壓力和溫度，您無需另外採購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經氣體總量，是監控整個應用過程及減少氣體浪費有效的方法。
性能卓越
M系列質量流量計可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量，配有多種模擬信號輸出及RS-232數字信號輸出。該系列質量流量計亦有便攜式型號(MB系列)，採用一塊普通9伏電池供電，即成為一款二等標準流量校準設備。
反應靈敏
10毫秒典型反應時間。
體積嬌小
M系列質量流量計嬌小的本體使其極易被安裝于系統中或作為一款單獨的校準設備隨身攜帶。
高重複性
Alicat 的專利技術使得質量流量計幾乎沒有可移動部件，所有零件都被內置固定，腔體內不存在物理變化，從而具有較高的一致性和重複性。M系列質量流量計的重複性可達±0.2% F.S。
值得信賴
全球現有超過90000台Alicat設備正被使用在不同領域中，如：科學研究、洩漏測試、環境監測、真空鍍膜、半導體、汽車製造、光伏、燃料電池、光纖製造、計量以及過程工藝氣體測量等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準証書。
產品性能
標準性能
• 多功能數字顯示屏
• 顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
• 低壓損
• 無需預熱
• Viton密封
• 8針mini-DIN電信號接口
• 標準圓形電源接口
• RS-232多點式數字輸出
• 0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
• 內置30種氣體可選
• 200:1量程可調比
• NPT接頭
• 可測量從0.5SCCM到4000SLPM的滿量程的任何流量
• 有條件的終身質保
可選性能
• 高精度
• 累加器
• 6針、DB9或DB15電信號接口
• ProfiBUS數字信號輸出
• RS-485數字信號輸出
• 4-20mA模擬信號輸出
• 第二種模擬信號輸出
• TFT背光彩色顯示屏
• 遠程顯示屏
• 遠程TFT背光彩色顯示屏
• 丙烯酸絕緣塗層
• EPDM密封
• NeSSI本體
• 氧氣清潔
• 用於高溫環境的遠程電子包裝
• SAE接頭
• VCR, VCO接頭
• 5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
• 雙向流動
• 額外標定點
• 定製混個氣體（最多4種）
• 定製流量範圍