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50毫秒內完成穩定的控制響應
精確、穩定的流量取決于控制響應速度，艾里卡特®質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值。快速、可重複、穩定！

操作便捷
• 50-100毫秒控制響應
• 允許用戶自行調節PID以獲得良好的速度和穩定性
• 定製化閥門孔徑以保証滿量程流量的穩定性
• 同一台設備控制質量流量、體積流量或絕對壓力
• 瞬間啟動、無需預熱：1秒內即可開始流量控制
MC 標準系列

MCR 大流量系列
精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定製閥門。
MCW / MCRW 低壓損系列
最大限度減小壓損對系統的影響，滿量程壓損最低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力；

最大量程：0-500 slpm。

MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可採用適用於腐蝕性氣體的316L不鏽鋼結構。

MCE / MCV 半導體行業專用系列
可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定製引腳功能使之與您的控制系統兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準。MCV系列另增加了後置的氣動截至閥 ，專門用於真空應用。可定製相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。最大量程：0-20 slpm. 

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列
全球首創雙向質量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量。可定製低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  

常用選配項
• 後置閥門，優化真空及背壓應用的控制
• 批量控制模式，依靠快速的閥門響應來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
• CSA認証1類2區 / ATEX認証1類2區允許設備用於危險環境
• 9針或15針D-Sub等連接接口可選
• 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選
• 彩色背光顯示屏適用於光線不足的場合