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大型LNG杜瓦罐抽真空系統，將24~48只低溫絕熱鋼瓶放置在烘箱內進行烘烤加熱抽真空，所有鋼瓶的真空口用高真空推拉閥和波紋管連接，機組採用雙極旋片泵預抽，羅茨泵加速，用擴散泵或者分子泵精抽，整個抽真空工藝5-7天完成，真空泵的測量規管和機組由業主自由選配，最終主管路極限真空度優于：7×10-5Pa。

杜瓦罐抽真空簡要配置表
一、雙級旋片式真空泵
每秒抽氣速率30升（70升）
極限真空為6×10-2Pa
30升的功率為3KW（70升功率5.5KW）
二、電磁真空帶充氣閥
三、羅茨真空泵
極限真空為5×10-2Pa
速率每秒150升的功率為3KW
速率每秒300升的功率為5.5KW。
四、擴散真空泵
擴散泵的極限真空是7×10-5Pa
口徑150mm的功率是1.5KW。
五、電阻規
電阻規為測量低真空的測量探頭
六、電離規
電離規為測量高真空的測量探頭
七、杜瓦罐烘箱
自動溫控0~400度可調
復合數顯真空儀表
烘箱功率6KW