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帶記錄儀微小氣體流量計
產品簡介：
FS4001系列小流量氣體質量流量傳感器是廣州迪川儀器儀表有限公司專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均採用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來製作，適用於各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用於各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
產品特點：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
- 傳感器芯片採用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保証了傳
- 感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩定度高
- 全量程高穩定性
- 全量程高精確度和優良的重複性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數：
性能參數
FS4001
單位
通 徑
1.0
1.8
mm
最大流量
30, 100, 200
500, 1000
SLPM
量程比
2132132132131231312100:1

精 度
±(1.5+0.2FS)
%
重複性
0.25
%讀數
零點輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
±0.12
%/oC
響應時間
4, 8, 16, 33 , 65 , 131
mses
工作電源
8~18Vdc,50mA

輸出方式
線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc

最大流量壓損
350
300
pa
最大工作壓力
0.5
MPa
工作溫度
-10 ~ +55
oC
存儲溫度
-20 ~ +65
oC
工作濕度
<95%RH（無結冰、無凝露）

機械接口
可拆式軟管接頭

校準方式
空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa

重量
15
g
訂貨詳情請聯繫熱線：020-85550363 85628522