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擴散爐全自動控制系統是新一代擴散爐全自動系統，可實現溫度、推拉舟、MFC電磁閥等的全自動控制。無障礙工作時間大於8千小時。其控制精度及質量完全取代進口的同類產品。該系統操作方便、控制精確、穩定可靠、價格合理，特別適合國人的操作習慣。 
●系統由DTC（數字溫度控制單元）、DPC（數字程序控制單元）和計算機系統。每個爐管都使用獨立的DTC和DPC控制，互不影響。四管擴散爐使用四台DTC和四台DPC，共用一台工控計算機管理。工控計算機配套15″TFT高清晰液晶顯示屏。 
●控制系統使用window／XP操作系統，可選擇中文或英文操作界面。先進的HMI人機界面、菜單式管理、五級密碼、測量數據直觀顯示、可儲存數千條工藝曲線（每條曲線100步）等。式操作更方便、更可靠。該系統可廣氾應用在新擴散爐的升級改造 
●監控軟件主要由權限設置、監控視窗、設備組態、幫助彩單四部分組成。監控視窗主由圖視界面、數控監控界面、故障記錄界面、Recipe管理界面、Recipe編寫、數據去線記錄界面六個界面組成。

產品特點：

◆採用高強度的CPU處理器控溫CPU43P和CJI系列PLC，運行可靠控制精度高，具有自動分布功能 

◆採用進口PLC進行上下傳遞參數，傳遞速度快，運行穩定 

◆ 顯示部分採用工業控制機，操作方便，可靠，顯示各參數直觀，方便查看實時數據曲線和曆史曲線 

◆ 所有軟件具備自動測溫區功能，具有事件記錄，超溫報警，氣體偏差報警，斷偶報警，過熱報警等功能 

◆ 在1280℃單點穩定性±0.5℃ 

主要技術指標： 

◆ 工作溫度：600—1290℃ 

◆ 恆溫區長度：1000mm 

◆ 爐管口徑：可供4”、5”、6”片 

◆ 氣路系統：三路主管道HLC、O2、N2，質量流量計控 制，所有管道配置全部採用進口VCR接頭 

◆工作台：採用層流水平淨化，淨化等級：100級， 

◆ 台面全部採用不鏽鋼​