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在日本也稱碳化水素清洗機，是使用碳化水素（HC）進行清洗

1．基本特性：

1)易燃，閃點在50℃-75℃;

2)清洗效果好，與CFC-113相當或更好;

 3)與所有的清洗物材質有很好的相容性;

 4)性能穩定，無殘留物;

5)不破坏臭氧層;

6)低毒;

7)全球溫室效應低;

設備工作原理及設計特點:

設備組成：真空碳氫設備展諧洗淨由清洗乾燥機主體、超聲波系統、真空脫氣系統、循環過濾系統、機械臂系統，真空乾燥系統、真空蒸餾回收系統、HC濃度監測系統、自動滅火系統及電氣控制系統等。

   1．真空清洗工作原理：清洗劑中殘存的氣體較多，含氣量是水的8-10倍，超聲波振動子發出的高周波遇到氣體（殘存氧氣）就會衰減，影響了超聲波的精密清洗效果。超聲波空化效應也難以展開，因此需要真空脫氣。首先清洗籃進入清洗槽。這時氣缸驅動槽蓋自動關閉清洗槽，真空脫氣系統啟動，將槽內空氣抽盡，在真空狀態下可以將需要清洗的產品的狹小縫隙內氣體及含在清洗劑中的氣體抽出，超聲波啟動，搖擺裝置啟動，帶動洗籃轉動，使清洗劑可以充分進行清洗；到設定的時間后，真空釋放，缸蓋打開，清洗籃進入下一槽;

   2．真空蒸餾回收原理：

    1)加熱：採用導熱油間接加熱方式。槽體下部外附一個加熱油包，外置一個導熱油加熱箱，加熱功率為12kW。首先由發熱管對導熱油進行加溫，再通過泵浦將加熱油輸送到加熱油包，經過熱交換后再輸送回加熱箱加熱，如此循環。加熱油包有獨立的溫控系統，油溫R.T.～140℃可調;

   2)需要回收的清洗劑（溶劑1）經過泵抽入真空蒸餾回收槽，進入真空回收槽之前，首先進入一個熱交換筒，在此與蒸餾回收的HC蒸汽管進行熱交換。經過抽真空后，清洗劑迅速沸騰並蒸發，產生HC蒸汽，然後可在冷凝區進行冷凝回收，回收的純淨清洗劑排入儲液槽，循環使用，具有自動補液循環和漂洗使用功能。

   3)強力真空減壓系統，配備真空減壓泵，真空顯示表。真空馬達為西門子，設有電磁閥。真空蒸餾回收能力為200L/H，常溫常壓下，碳化水素的沸點為172℃，減壓情況下，可以降低沸點，高溫碳化水素在減壓條件下迅速形成HC蒸汽，被真空泵一起抽出回收槽，在冷卻箱內再形成液體，經過活性碳過濾，稱為再生液，可以循環使用。

　　碳氫真空清洗乾燥機經過碳氫真空清洗機的清洗，完全可以達到精密工業部件的清洗要求。

  1、真空清洗乾燥機利用液體在真空狀態下的物理變化，改變了碳氫清洗劑和被清洗物的某些特性，從而趨利避害，使碳氫清洗劑的優勢得到更好的發揮。

　　 真空技術在清洗中的主要作用是：

     1、 脫出清洗劑中的空氣，減少超聲波的衰減。 為提高清洗效果，清洗機中一般都採用超聲波技術，利用超聲波振子每秒鐘几萬次頻率的振動，發出超過人耳可聽見的10萬倍以上的聲壓。在清洗的情況下超聲波在液體中呈放射狀，使清洗液體流動而產生大量的真空氣泡，這種現象就是空穴作用。由這種空穴作用而產生的液體流動和數以萬計的高壓真空氣泡瞬間爆破時產生的能量，不斷地衝擊被清洗物表面，使表面及縫隙中的污垢迅速剝落。但在常壓狀態下，清洗劑中溶解的空氣粒子遇到超聲波時產生氣泡，超聲波的空穴作用會被大幅度衰減，清洗效果被減弱。在真空狀態下，清洗劑中的氣體會被脫出，從而避免了超聲波的衰減。

    2、 排除工件表面和孔隙中的空氣，提高清洗效果。在傳統清洗中，清洗效果不理想常常是因為盲孔、粗糙表面和細小縫隙中的空氣不能排出，影響清洗劑的浸潤，產生清洗盲區。應用真空技術后，可使部件表面、縫隙和盲孔內的空氣全部排出，使清洗劑完全浸入工件的每個部位，使工件的各個部位都達到最好的清洗效果。對於構造複雜、盲孔較深的工件，通過兩次以上的抽真空和排氣過程，也可以將空氣全部排出。所以在真空狀態下，清洗效果要比常壓下更好。

3、 降低沸點，使碳氫清洗劑也可以實現氣相清洗。 使用鹵代烴清洗劑的超聲波清洗機，利用鹵代烴清洗劑沸點低的特點，在清洗的最後一步，將清洗劑加熱使之產生純淨的清洗劑蒸汽，用溶液蒸汽對工件進行氣相清洗，使溶解在清洗溶液中的油污不會殘留在工件表面。由於碳氫清洗劑的沸點高于閃點，在常壓狀態下不可能對工件進行蒸汽清洗。真空清洗乾燥機利用液體在真空狀態下沸點降低的原理，通過對密封的清洗槽抽真空，使碳氫溶劑的沸點大大降低，只需將碳氫清洗劑加熱到80℃左右，就可使其沸騰，實現氣相清洗。

4、 利用真空突沸效應，提高乾燥速度。由於碳氫清洗劑的沸點都在140℃以上，在常溫常壓下徹底揮發一般需要一小時左右。這樣的乾燥速度肯定不能滿足工藝清洗的節拍要求。而用加熱烘乾的方法又容易產生火險，這也是碳氫清洗劑在中國未得到廣氾應用的主要原因之一。真空清洗乾燥機一般是將蒸汽清洗與真空乾燥在一個槽中進行，在對工件進行蒸汽清洗的同時使工件溫度升高，然後使乾燥槽迅速進入更高的真空狀態，工件表面的清洗液會突然沸騰（真空突沸效應）而迅速揮發乾淨。

5、 真空蒸餾，使碳氫清洗劑再生重複使用。清洗劑的蒸餾再生，就是利用清洗劑與污垢之間的沸點差，將溶有油污的清洗劑加熱到清洗劑的沸點以上而控制在油污的沸點以下，使清洗劑汽化，然後通過冷凝裝置使之重新凝結成純淨的清洗劑，而沸點較高的油污和機械雜質則留在蒸餾罐的底部。鹵代烴清洗劑由於沸點低且不可燃，蒸餾再生相對容易，所以，許多鹵代烴清洗劑都附帶有蒸餾再生裝置。而碳氫清洗劑由於沸點高而閃點較低，在常壓下蒸餾再生是不可能的。真空清洗乾燥機的蒸餾再生裝置在高真空下使碳氫清洗劑的沸點降低到80℃，使清洗槽中溶解了油污的清洗溶液不斷地抽入蒸餾裝置，在真空中加熱蒸發，再經過冷凝成為清潔溶劑回到清洗槽中，使清洗液始終保持清潔狀態。油污則留在蒸餾裝置底部，定期排出。

6、 隔絕氧氣，使碳氫清洗劑失去燃燒的條件。絕大多數碳氫清洗劑閃點都在50℃左右，在我國《常用危險化學品的分類及標誌》（GB13690-92）中屬於高閃點易燃液體。雖然閃點較高，但在高溫或有助燃物（如紙和棉絮）的情況下仍有燃燒危險。因此控制火險成為其推廣使用必須解決的問題。燃燒需要有可燃物、溫度和氧氣三個必要條件，只要缺少一項，燃燒就不可能發生。在真空狀態下氧氣含量極低，在清洗、乾燥和蒸餾再生的過程中，即使碳氫清洗劑的溫度達到閃點以上，由於沒有氧氣，失去了燃燒的一個必要條件，碳氫清洗劑也不會燃燒，從而保証了使用安全。

真空清洗乾燥機用一套真空泵同時解決了清洗中的諸多問題，可以說是設備創新和典范。