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三氟化氮 1
  • 三氟化氮 1

三氟化氮

型號:-
品牌:東祥
原產地:中國
類別:化工 / 無機原料 / 單質
標籤︰三氟化氮公司 , 三氟化氮 , 生產三氟化氮
單價: ¥450 / 公斤
最少訂量:50 公斤
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天津市東祥特種氣體有限責任公司

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產品描述

產品名稱:三氟化氮
CAS號:7783-54-2
分子式:NF3

應用

  三氟化氮是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體,對硅和氮化硅蝕刻,採用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性,而且對表面無污染,尤其是在厚度小於1.5um的集成電路材料的蝕刻中,三氟化氮具有非常優異的蝕刻速率和選擇性,在被蝕刻物表面不留任何殘留物,同時也是非常良好的清洗劑。

包裝規格
  Cylinder(47L)、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、Y-Cylinder(470L)、ISO等
鋼瓶容積 鋼瓶型號 閥門 鋼瓶壓力 氣體質量 危規號 UN編號 包裝分類 包裝標誌
47L、43.3L、40L、8L DOT-3AA、GB5099 CGA330、CGA640 9.0-13.0MPa 22kg、20kg、3.4kg 23016 2451 6

主要生產經營
高純氦氣、液氦、氣球氦氣;
硫化氫、環氧乙烷消毒氣、氘氣;
高純氣體、混合氣體、工業氣體;
無縫鋼瓶檢驗與服務;氣體管道工程等。 


產品圖片

三氟化氮 1
圖 1

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