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低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然後便引發了一系列複雜的物理、化學反應，使複雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。

低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學于一體的交叉綜合性電子化學技術，有很容易使污染物分子高效分解且處理能耗低等特點。適用範圍廣，淨化效率高，尤其適用於其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫藥等行業。佔地面積小；電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；運行費用低；反應快、停止十分迅速，隨用隨開。