壓電陶瓷電機
壓電陶瓷電機是基於壓電效應而開發的一種新型電機,具有極高的分辨率和精度,具有結構緊湊、大力矩輸出、無電磁干擾、斷電自鎖等優點,並可以在超高真空換下使用,廣氾用於半導體、光學、生物科學和國防等應用領域。