型號: | QT-100H-SYSX |
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品牌: | 啟天科技 |
原產地: | 中國 |
類別: | 工業設備 / 通用機械 / 輸送設備 |
標籤︰ | 石英舟擴散上下機 , 硅片擴散上下機 , 石墨舟硅片上下機 |
單價: |
¥560000
/ 台
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最少訂量: | 1 台 |
最後上線︰2024/07/01 |
電池硅片石墨舟石英舟擴散上下料機主要技術參數:
1.外形尺寸:石英舟下料機寬1.6 米X 長3.0 米X 高2.5 米
2.生產效率:8000 -12000片/小時
3.碎片率:≤0.3/1000(原碎片除外)
4.工位數:雙工位
5.設備適用156×156 (±0.5mm) (6 英吋)硅片
適用藍具為100 層石英舟載具.50 片塑料花籃。
電池硅片石墨舟石英舟擴散上下料機目地:
1.將石英舟內的硅片通過雙吸盤機構吸取出,然後裝進
塑料籃具內,以及把塑料花籃內的硅片通過雙吸盤機構吸取
出,然後裝進石英舟內。以供下一道工序使用。
2.適用尺寸:156×156 (±0.5mm)厚度為160~280μm 的方形
硅片。
3.操作方式:全自動