| 型號： | CL |
|---|---|
| 品牌： | 晨立 |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 工業設備 / 電子電氣產品製造設備 |
| 標籤︰ | 擴散爐 , 高溫擴散爐 , 半導體擴散爐 |
| 單價： |
¥60000
/ 台
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| 最少訂量： | 1 台 |
| 最後上線︰2024/06/12 |
高溫擴散爐
外型形式：
臥式1—4管結構高溫擴散爐主要滿足半導體電力電子器件行業、大功率集成電路等行業，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、控制系統、超淨化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。
技術指標： 可處理硅片尺寸：2—8英吋
工作溫度：200℃—1300℃
恆溫區長度及精度：200mm—100mm≤±0.5℃
單點溫度穩定性、重複性：≤±1.5℃／24h
溫度斜變：可控升溫速率20℃／min，
可控降溫速率：5℃／min
送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手動推拉
氣路系統：1—5路工藝氣體／管
氣體控制：全自動MFC、手動浮子流量計
控制方式：工控機、觸摸屏
