產品描述
HANBELL漢鐘干式真空泵
包括臺灣漢鐘干式螺杆式真空泵和臺灣漢鐘干式多級羅茨真空泵
PDR系列
包括機型 漢鐘真空泵 PDR100 , 漢鐘真空泵 PDR602, 漢鐘 真空泵
PDR1202
上海漢鐘干式真空泵 PS系列
包括機型 漢鐘真空泵PS80 ,漢鐘真空泵PS160,漢鐘真空泵 PS180,
漢鐘真空泵 PS602,漢鐘真空泵 PS1302
臺灣漢鐘真空泵PS系列產品特點
螺旋真空泵浦產品特色
漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉
子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,
因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果,終極
壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短,粉塵移除
能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,因
此可適用於PECVD、Etching等嚴苛製程。
泵浦溫度控制精準
漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉
子設計,同時改善殼體的冷卻方式,採用水套間接水冷的方式來降低殼
體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加
真空泵浦的壽命。
密封馬達安全性高
PS系列真空泵浦亦全面採用專利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能
維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免製程氣體外
漏的風險。
微電腦控制保護週全
PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬
達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供
真空泵浦完整的安全性保護,十分適用於光電、半導體、太陽能與
TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。
產品圖片
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