產品描述
- FIBERPRO的光學晶圓厚度綜合測試儀(IFP-801系列 ) 能有效測試各種晶圓（ 藍寶石； Sic； Si； InP；玻璃等） 的表面特征。 該設備採用FIBERPRO獨有技術,在不造成任何物理損傷的情況下用最快的速度測量晶圓的厚度， TTV， LTV,彎曲度， 平整度。 另外在聯機或脫機條件下也可以進行各種應用< 4寸硅片測試界面 >,同時配有防止灰塵的蓋子,由於體積小,便於攜帶.
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圖 1
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