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潔淨室形式：

非單向流潔淨區

單向流潔淨區（水平、垂直流向）

合流潔淨區

環形/隔離裝置
注：混合流潔淨區是ISO標準提出的，即把實際早已存在的非單向流潔淨室設置了局部的單向流的潔淨工作台/層流罩對關鍵部位進行“點”或“線”的保護，以減少單向流潔淨區的面積。

潔淨室構造形式：
根據工藝特點進行佈置，在滿足使用前提下求得經濟合理，可分為几下几類：
1、開放式：用於工藝過程對各區潔淨度等級需求差別不大的情況下：
優點：靈活性好，便於調整、變更、設計簡單、空氣處理系統單一。
缺點：高運行費用，對於單向流型回風通道占空間大。
2、套件式：各潔淨區按工藝的工序及潔淨度等級要求分隔與連通，並進行各區間的壓差控制。注：用於實驗室類還是要求各自系統獨立，不共享。
3、隧道式：是以“線”保護代替“面”保護的典型。
優點：節能，防火分隔簡單，安全。
缺點：設計時需仔細，麻煩。施工難度高，靈活性差。
4、微環形+開放式潔淨室
5、模塊化潔淨室：是近年來發展最快的。
FFU的發展對模塊化潔淨室靈活、方便性更加體現。一般適用於空調參數與所處背景環境基本一致的場合（不需要保溫），可滿足ISO標準4級及以上。