首頁 > 產品信息 > 工業設備 > 化工設備

半導體單晶圓片蒸發清洗線

品牌：《南軒電子》適用於微電子半導體各尺寸硅晶圓片的清洗腐蝕，整體設備用料為德國進口磁白色聚丙烯（PP），經雕刻后組合焊接加工而成，門板採用德國透明聚氯乙烯（PVC）；腐蝕槽採用德國自然色聚偏二氟乙烯（PVDF）；清洗槽採用德國自然色聚丙烯板（NPP）；關健部件採用進口原器件。設備的腐蝕槽和清洗槽間的轉換由進口SEW驅動，以迅速實現槽與槽之間的硅片轉換。另外，此設備腐蝕槽還配有美國聚四氟乙烯加熱器、虹吸上排、傳感器。清洗槽配有溢流裝置，和N2鼓泡裝置。適用於微電子半導體行業，也適合於高校化學實驗室作實驗濕台、腐蝕台。非標規格，具體規格依客戶工藝確定。有需求此方面設備的朋友，歡迎來電咨詢：馬勝南15010795119，010-52103382。

晶圓顯影實驗台 品牌：《南軒電子》可用於半導體工藝中對各種規格尺寸硅晶片進行顯影和定影，整台設備均採用德國進口PP材料，經雕刻后組合焊接加工而成。雙排槽構成，每排7槽（根據工藝確定），各設一套機械手，兩排可同時完成相應的工序。每槽裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）。 工作區潔淨度：100級。槽間工藝轉換時間：Tm ax≤3.5S，工藝過程為全自動，全程PLC控制，觸摸屏操作。結構設計合理，外型美觀。適用於微電子半導體行業，也適合於高校化學實驗室作實驗濕台、腐蝕台。非標規格，具體規格依客戶工藝確定。有需求此方面設備的朋友，歡迎來電咨詢：馬勝南15010795119，022-22566365