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~TigerOptics Laser Trace水分測定儀
微量氣體雜質定量分析在許多領域都非常重要，例如光譜學，化學分析、醫療診斷、環境監測和工業生產中的污染物控制等。 在過去二十年間，隨着半導體產業的進步，半導體生產所用的氣體中最大允許的不純度減少了四個數量級。
的確，超高純度氣體對於半導體集成電路中所要求得越來越小的幾何特點具有極其重要的作用。特別是已經証實了的，氣體中只要有十億分之几(ppb)的水分就可在硅片上導致瑕疵[1]。 所以半導體製造商要求氣體供應商清楚地保証水分不能大於1-10 ppb，今後會要求更低的水平。
半導體產業對高純度氣體的需求對氣體供應商和分析儀器製造商提出了巨大挑戰。微量水分的監測不僅用於大用量氣體，例如氮氣、氧氣、氫氣、氦氣和氬氣，而且還要監測特殊氣體，例如HCl，HBr，BF3，AsH3，CF4和許多其他氣體。 這些氣體往往是高腐蝕性、易反應和有毒的。
這個挑戰要求微量氣體分析儀不僅應具有高靈敏度、準確度和快速響應速度，而且要能夠經受腐蝕性氣體。 現有的儀器很少滿足所有這些要求。 光腔衰蕩光譜(CRDS)是少數能達到上述要求的一種基於激光的光譜技術。第一台基於光腔衰蕩光譜(CRDS)原理的儀器，MTO-1000-H2O，可以準確、快速地檢測普通氣體中200 ppt的水分，此儀器還可用於腐蝕性和有毒氣體。