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一、 設備概述

用途：清洗，活化，退鍍，改性，蝕刻，提升附着力等功能

等離子體清是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，並可實現整體和局部以及複雜結構的清洗。

特點：低溫，全方位表面清洗，環保

真空等離子表面處理系統是一種全新高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果，在多個領域中都得到了廣氾的應用。等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗坏清洗對象的問題; 在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。通過等離子體轟擊，材料表面微觀層面活性增強，能明顯改善塗覆效果。利用等離子技術對這些材料進行表面處理，

在高速高能量的等離子體的轟擊下，這些材料結構表面得以最大化，同時在材料表面形成一個活性層，這樣橡膠、塑料就能夠進行印刷、粘合、塗覆等操作。應用等離子技術對橡塑表面處理，其操作簡單，處理前後沒有有害物質產生，處理效果好，效率高，運行成本低。在真空等離子清洗時加入一定量的 Ar 和氧氣能夠達到更好的清潔效果。

等離子清洗機尺寸圖

等離子清洗機正面

二、 機構特點

真空腔是一個由不鏽鋼製成的容器，在腔體內進行真正的等離子處理工序。此腔體的設計通過保持氣體流動的連續性和恆定性來維持機器設備運行時的穩定性。此真空腔主要由電極、氣體

分配管路、真空阻斷器、真空腔門等四部分組成。

場地要求：

電   源：三相五線   獨立接地，接地電阻≤2Ω。應使用截面積4mm2以上的接地銅線（建議使用獨立接地體，接地電阻必須≤2Ω。）將設備接至PE。

氣    源：氮氣 0.45MPa其它工作氣體(氧、氬、氫、氦等)：≤ 0.45MPa

壓縮空氣：0.5Mpa

真空泵排放氣管：軟管，管徑（內徑）φ25mm。建議將排氣管接至室外，並且在排氣管路上設置防止水、油流回的裝置。

場地溫度：≤40℃

相對濕度：RH（35-65）%

產品驗收標準

產品驗收以技術方案中的主要技術參數中的14項作為驗收標準，驗收報告以此作為基準出具驗收表格，方案中的其他各項均應符合實際的機器配給情況。