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高速直驅UVW納米對位平台

六軸高速納米對位平台

MT高精密運動系列產品，主要作用於nm至亞um級別的高精度運動需求．

產品運動形式包含單軸線性運動、垂直線性運動、旋轉運動、俯仰旋轉運動等，且可根據具體要求組合成復合運動平台

常用於：光學、光纖、半導體前段製程、軍工科研等領域．該系列標準產品的基礎上，亦可接受客制化特規產品的R&D服務。

MT系列納米高速對位平台產品，提供了完整6 自由度納米至亞微米級別的高精度對位需求。產品依運動形式

分為四個模塊，包括：單軸線性水平運動模塊、准平垂直昇降運動模塊、平面旋轉運動模塊、共面俯仰擺角運動模塊；

各模塊含有多種外型尺寸可供選擇且可根據具體需求組合成復合運動平台，亦接受客制特規產品的服務，例如使用於超高真空下對應的解決方案。

線性馬達驅動，無背隙快速位移

高分辨率光柵尺使用：20nm

超精密運動性能：重複精度+/-0.1um

模塊套件化：6軸自由度軸各有三種尺寸可供組合

高速直驅UVW納米對位平適用場合

1.超精密自動化組裝設備

2.攝像頭模組主動對位（AA）設備

3.光纖精密組裝對位設備

4.柔性屏精密貼合設備

5.半導體晶圓檢測設備

深圳歐洛克自動化科技有限公司主要產品有日本電產SHIMPO（新寶）減速機、德國格萊斯納Graessner直角減速機、日本帝人擺線針輪減速機、機器人RV減速機、諧波減速機、中空旋轉平台減速機、日本貝托(Beitto)行星減速機、BFCN送料振動盤、十字轉向器(90度轉角減速機)、SATA直線模組、伺服電動缸、視覺無人叉車、高速UVW納米對位平台