| 型號： | 定制型 |
|---|---|
| 品牌： | 拓吉泰 |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 化工 / 無機原料 / 氧化物 |
| 標籤︰ | 氧化鈮靶材 , 真空鍍膜靶材 , 磁控濺射靶材 |
| 單價： |
¥40000
/ 根
|
| 最少訂量： | 1 根 |
| 最後上線︰2022/10/11 |
噴塗氧化鈮靶材 Spray NbOx Target
產品說明Product description
以等離子體為熱源將Nb2O5粉末加熱到熔融或半熔融狀態並高速衝擊背管表面形成緻密塗層，從而制備出高純度、高緻密度NbOx靶材。
With plasma as heat source, high purity and high density NbOx target is produced from Nb2O5 powder, which is heated to molten or semi-molten state and deposited on the surface of backing tube at high speeds to form dense coatings.
|
項目 Item |
參數 Specifications |
檢測手段 Testing method |
|
純度 Purity |
≥99.9% |
|
|
密度 Density |
≥4.7 g/cm3 |
阿基米德密度儀 Archimedes densimeter |
|
雜質含量 Impurities
|
Ta: ≤200 ppm Si: ≤80 ppm Fe: ≤80 ppm Al: ≤30 ppm W: ≤30 ppm Cu: ≤30 ppm 雜質總和 (Total impurity)：≤1000 ppm |
化學分析 Chemical analysis |
|
電阻率 Electrical resistivity |
≤0.2 Ω∙cm |
四探針電阻率儀 Four probe resistivity meter |
|
建議功率 Recommended power |
15 kw/m |
|
背管材質 Backing tube
-選用304/316L不鏽鋼（無磁）。
304/316L stainless steel (non-magnetic).
靶材尺寸Dimension
-按照圖紙要求加工
According to the customized drawings.
應用領域Applications
-主要用於LOW-E鍍膜玻璃，薄膜太陽能電池電極膜系，TFT-LCD，半導體電子。
LOW-E glasses, electrodes of thin film solar cells, TFT-LCD, semiconductor devices.
