我公司硅基定位基片製作已有20年的曆史，具有豐富的設計經驗和穩定的製作工藝，使得我公司硅基定位基片產品週期精度高達0.3um。產品穩定，一致性好，沒有累積誤差。特別是對於異形硅基定位基片的加工，更是具有獨到的工藝控制。目前接受異型產品定製。
產品參數
通道數量
1-2000
通道間隔
只接受客戶定製
V槽寬度誤差
0.5μm
V槽中心距週期誤差
0.3um
基片外形尺寸
客戶定製
基片厚度
0.5mm、1mm
