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半導體冷水機低溫冰水機Chiller ZL

應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度控制，具有溫度穩定性高、溫度範圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體製作過程/激光加工機/分析裝置/FPD製造裝置等用途中成果較多。

密閉循環系統

整個系統為全密閉系統，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導熱介質。

安全防護

具有自我診斷功能：相序斷相保護器、冷凍機過載保護，高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。不用更換導熱介質，而且不需要加壓的情況下就可以實現-60℃~200℃連續控溫。

可應用於半導體行業蝕刻裝置，CMP (工藝機械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

特點：

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小

佔地面積小、保護裝置

快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產

運行穩定、準確控溫