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1200度1500度1700度2D材料CVD生長系統 11200度1500度1700度2D材料CVD生長系統 21200度1500度1700度2D材料CVD生長系統 31200度1500度1700度2D材料CVD生長系統 41200度1500度1700度2D材料CVD生長系統 5
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1200度1500度1700度2D材料CVD生長系統

型號:CVD系统
品牌:成儀
原產地:中國
類別:電子、電力 / 儀器、儀表 / 實驗儀器裝置
標籤︰1200度CVD系統 , 1500度CVD系統 , 1700度CVD系統
單價: ¥80000 / 件
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產品描述

1200度1500度1700度CVD生長系統

該CVD系統是不同溫度例如1200度1500度1700度管式爐、不同溫區單溫區雙溫區三溫區的管式爐,管徑有50mm,60mm,80mm,100mm石英管或者剛玉管,帶精密氣體流量控制器的質子流量計或者浮子流量計,以及真空系統組成真空系統由VRD系列的兩級旋轉真空泵和KYKY分子泵構成的CVD系統。具體要求根據客戶需求來配置的,實驗研究表明:CVD系統可用於保護氣氛的環境燒結,也可用於各種薄膜的制備,石墨烯薄膜生長、納米管生長等,2D材料生長。

以下圖片由不同溫度的爐子和流量計真空泵搭配的

1.1200度單溫區管式爐3路質子流量計真空泵CVD系統

2.1500度單溫區3路浮子流量計兩級旋轉真空泵CVD系統

https://img.diytrade.com/seimg/2991911/51478946.jpg

3.1700度單溫區3路質子流量計兩級旋轉真空泵CVD系統

 

 

管式爐部分
爐體溫度 1200度,1500度,1700度
爐膛模式 開啟式
顯示模式 高亮度LED數碼管
爐膛材料 氧化鋁纖維
加熱元件 高純硅鉬棒
升溫速率 ≤20℃ (建議:10℃/min)
加熱溫區 單溫區
溫區長度 440mm (單溫區)220mm+220mm(雙溫區)220mm+440mm+220mm(三溫區)(1500C1700C 沒有三溫區)
恆溫區長 260mm(單溫區)130mm+130mm(雙溫區)180mm+440mm+180mm(三溫區)(1500C1700C 沒有三溫區)
爐管材質 1200度是石英管1500度和1700度是剛玉管
爐管尺寸

1200度石英管OD50*1000,OD60*1000,OD80*1000,OD100*1000mm 三溫區長度石英管長度是1400mm

1500度和1700度剛玉管尺寸單溫區剛玉管尺寸OD50*1000,OD60*1000,OD80*1000

1500度和1700度剛玉管尺寸雙溫區剛玉管尺寸OD50*1200,OD60*1200,OD80*1200

密封方式 真空法蘭
氣 密 性 7.8×10-4Pa
控制模式 智能PID
控溫精度 ±1℃
溫度曲線 30段"時間—溫度曲線"任意可設
超溫報警
過流保護
斷偶提示
加熱元件 1200度電阻絲,1500度硅碳棒,1700度硅鉬棒
測溫元件 1200度K型熱電偶,1500度S型熱電偶,1700度B型熱電偶
電氣認証 CE認証
供電電源 220V 50Hz
額定功率 4KW
外形尺寸 700*510*720 mm
售后服務 12個月質保,終身保修
真空泵部分
型號 VRD-4 雙級旋轉真空泵系統或者是KYKY FJ-110分子泵系統
抽速m/h(L/s) 4(1.1)
極限分壓強-無氣鎮(Pa) 5×10-2
極限總壓強-無氣鎮(Pa) 5×10-1
極限總壓強-有氣鎮(Pa) 3
電源 AC220V
電機功率(KW) 0.4/0.37
進排氣連接口DN(mm) KF16/25
用油量(L) 0.6~1
電機轉速(rpm) 1440
流量計部分
產品名稱

質子流量計一路,二路,三路,四路,浮子流量計一路,二路,三路,四路

下列參數是以3路質子流量計為例的參數

流量計類型 質子流量計
流量計管芯 304不鏽鋼
調節閥類型 電磁調節閥
管道常態 常閉
流量計外殼 黑色鋁殼
氣體種類 3種
接口尺寸 1/4"
測量精度 ±1.0%F.S
線性度 ±0.5%F.S
重複精度 ±0.2%F.S
壓力範圍 -0.1-0.15 MPa
A路氣體測量範圍 0~100SCCM
B路氣體測量範圍 0~200SCCM
C路氣體測量範圍 0~500SCCM
流量控制範圍 2%~100%
零點溫漂 0.6F.S(15~35℃)
響應時間 2S
工作環境溫度 (15~50℃)
精度保証溫度 (15~35℃)
供電電源 220V 50Hz
外形尺寸 L700×W600×H580
設備重量 43kg

 


產品圖片

1200度1500度1700度2D材料CVD生長系統 1
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1200度1500度1700度2D材料CVD生長系統 2
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1200度1500度1700度2D材料CVD生長系統 3
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1200度1500度1700度2D材料CVD生長系統 4
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1200度1500度1700度2D材料CVD生長系統 5
圖 5

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