型號: | CVD系统 |
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品牌: | 成儀 |
原產地: | 中國 |
類別: | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 實驗儀器裝置 |
標籤︰ | 1200度CVD系統 , 1500度CVD系統 , 1700度CVD系統 |
單價: |
¥80000
/ 件
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最少訂量: | 1 件 |
最後上線︰2023/11/01 |
1200度1500度1700度CVD生長系統
該CVD系統是不同溫度例如1200度1500度1700度管式爐、不同溫區單溫區雙溫區三溫區的管式爐,管徑有50mm,60mm,80mm,100mm石英管或者剛玉管,帶精密氣體流量控制器的質子流量計或者浮子流量計,以及真空系統組成真空系統由VRD系列的兩級旋轉真空泵和KYKY分子泵構成的CVD系統。具體要求根據客戶需求來配置的,實驗研究表明:CVD系統可用於保護氣氛的環境燒結,也可用於各種薄膜的制備,石墨烯薄膜生長、納米管生長等,2D材料生長。
以下圖片由不同溫度的爐子和流量計真空泵搭配的
1.1200度單溫區管式爐3路質子流量計真空泵CVD系統
2.1500度單溫區3路浮子流量計兩級旋轉真空泵CVD系統
3.1700度單溫區3路質子流量計兩級旋轉真空泵CVD系統
管式爐部分 | |
爐體溫度 | 1200度,1500度,1700度 |
爐膛模式 | 開啟式 |
顯示模式 | 高亮度LED數碼管 |
爐膛材料 | 氧化鋁纖維 |
加熱元件 | 高純硅鉬棒 |
升溫速率 | ≤20℃ (建議:10℃/min) |
加熱溫區 | 單溫區 |
溫區長度 | 440mm (單溫區)220mm+220mm(雙溫區)220mm+440mm+220mm(三溫區)(1500C1700C 沒有三溫區) |
恆溫區長 | 260mm(單溫區)130mm+130mm(雙溫區)180mm+440mm+180mm(三溫區)(1500C1700C 沒有三溫區) |
爐管材質 | 1200度是石英管1500度和1700度是剛玉管 |
爐管尺寸 |
1200度石英管OD50*1000,OD60*1000,OD80*1000,OD100*1000mm 三溫區長度石英管長度是1400mm 1500度和1700度剛玉管尺寸單溫區剛玉管尺寸OD50*1000,OD60*1000,OD80*1000 1500度和1700度剛玉管尺寸雙溫區剛玉管尺寸OD50*1200,OD60*1200,OD80*1200 |
密封方式 | 真空法蘭 |
氣 密 性 | 7.8×10-4Pa |
控制模式 | 智能PID |
控溫精度 | ±1℃ |
溫度曲線 | 30段"時間—溫度曲線"任意可設 |
超溫報警 | 有 |
過流保護 | 有 |
斷偶提示 | 有 |
加熱元件 | 1200度電阻絲,1500度硅碳棒,1700度硅鉬棒 |
測溫元件 | 1200度K型熱電偶,1500度S型熱電偶,1700度B型熱電偶 |
電氣認証 | CE認証 |
供電電源 | 220V 50Hz |
額定功率 | 4KW |
外形尺寸 | 700*510*720 mm |
售后服務 | 12個月質保,終身保修 |
真空泵部分 | |
型號 | VRD-4 雙級旋轉真空泵系統或者是KYKY FJ-110分子泵系統 |
抽速m/h(L/s) | 4(1.1) |
極限分壓強-無氣鎮(Pa) | 5×10-2 |
極限總壓強-無氣鎮(Pa) | 5×10-1 |
極限總壓強-有氣鎮(Pa) | 3 |
電源 | AC220V |
電機功率(KW) | 0.4/0.37 |
進排氣連接口DN(mm) | KF16/25 |
用油量(L) | 0.6~1 |
電機轉速(rpm) | 1440 |
流量計部分 | |
產品名稱 |
質子流量計一路,二路,三路,四路,浮子流量計一路,二路,三路,四路 下列參數是以3路質子流量計為例的參數 |
流量計類型 | 質子流量計 |
流量計管芯 | 304不鏽鋼 |
調節閥類型 | 電磁調節閥 |
管道常態 | 常閉 |
流量計外殼 | 黑色鋁殼 |
氣體種類 | 3種 |
接口尺寸 | 1/4" |
測量精度 | ±1.0%F.S |
線性度 | ±0.5%F.S |
重複精度 | ±0.2%F.S |
壓力範圍 | -0.1-0.15 MPa |
A路氣體測量範圍 | 0~100SCCM |
B路氣體測量範圍 | 0~200SCCM |
C路氣體測量範圍 | 0~500SCCM |
流量控制範圍 | 2%~100% |
零點溫漂 | 0.6F.S(15~35℃) |
響應時間 | 2S |
工作環境溫度 | (15~50℃) |
精度保証溫度 | (15~35℃) |
供電電源 | 220V 50Hz |
外形尺寸 | L700×W600×H580 |
設備重量 | 43kg |