首頁 > 產品信息 > 電子、電力 > 儀器、儀表 > 儀器儀表配附件

微控擴散爐 1
  • 微控擴散爐 1

微控擴散爐

型號:-
品牌:福潤德
原產地:中國
類別:電子、電力 / 儀器、儀表 / 儀器儀表配附件
標籤︰ -
單價: ¥1 / 件
最少訂量:1 件
發送查詢

會員信息

詳細信息

產品描述

擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業,對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、控制系統、超淨化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。

擴散爐技術指標:
可處理硅片尺寸:2—12英吋
外型形式:臥式1—4管結構
工作溫度:200℃—1300℃
恆溫區長度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
單點溫度穩定性、重複性: ≤±1℃/24h
溫度斜變: 可控升溫速率15℃/min
可控降溫速率: 5℃/min
送片裝置:全自動懸臂推拉舟、拉杆式推拉舟
氣路系統:1—5路工藝氣體/管
氣體控制:全自動MFC
控制方式:工控機、觸摸屏


產品圖片

微控擴散爐 1
圖 1

向該會員發送查詢

青島福潤德微電子設備有限公司

山東青島城陽區北萬工業園區6號

電話︰
86-0532-13668894181
傳真︰
聯繫人︰
徐魯陽 (客服)
手機︰
13668894181
免責聲明:以上信息由企業自行提供,內容的真實性和合法性由發布企業負責。「自助貿易」對此不承擔任何保証責任。
舉報投訴:如發現違法和不良資訊,請 點此處舉報

中國供應商快速搜索︰

"儀器儀表配附件" 產品信息

"儀器儀表配附件" 供應商