| 型號： | - |
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| 品牌： | - |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 工業設備 / 電子電氣產品製造設備 |
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| 單價： |
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| 最少訂量： | - |
| 最後上線︰2024/09/07 |
太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產線對125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟着陸擴散爐。
技術指標：
可處理硅片尺寸：125mm×125mm、156mm×156mm
外型形式：臥式1—4管結構
載片量：400片／管
擴散方式：閉管擴散、軟着陸全封閉
工作溫度：200℃—1300℃
恆溫區長度及精度：200mm—1100mm≤±1℃
單點溫度穩定性、重複性： ≤±1℃／24h
溫度控制：5段控溫
總功率：120KVA
送片裝置：懸臂推拉舟，碳化硅槳最大載重17kg
氣路系統：1—5路工藝氣體／管
氣體控制：進口MFC
控制方式：工控機、觸摸屏
Thinnerwafers：180Um
Break rate：0.8％
方阻均勻度範圍：片內±5％，片間±5％，批間±5％
