| 型號： | CL |
|---|---|
| 品牌： | 晨立 |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 工業設備 / 通用機械 / 電熱設備 |
| 標籤︰ | 實驗爐 , 熱處理爐 , 氧化爐 |
| 單價： |
¥220000
/ 台
|
| 最少訂量： | 1 台 |
| 最後上線︰2025/01/06 |
設備用途：實驗爐是半導體加工中的典型熱處理設備，用於大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。
主要技術參數：
◆工藝管數量：1-4管
◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英吋）
◆工作溫度範圍：400～1280℃
◆恆溫區長度及精度±0.5℃/1080mm
◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）
◆結構型式：臥式熱壁型
◆氣體流量設定精度:±1％F.S
◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s
