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晶圓高真空退火設備

型號:CL
品牌:晨立
原產地:中國
類別:工業設備 / 電子電氣產品製造設備
標籤︰退火爐 , 晶圓退火設備 , 真空爐
單價: ¥360000 / 件
最少訂量:1 件
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青島晨立電子有限公司

商務會員山东省青岛市
最後上線︰2025/01/18

產品描述

晶圓真空退火爐主要用於半導體晶圓在高真空環境下的低溫退火。

尺寸:4-8英吋晶圓

晶圓舟:標準25片

控溫精度:±3℃

升溫速率:10℃/min

潔淨等級:百級潔淨

真空度:5*10-4 Pa

使用溫度:200-550度


產品圖片

晶圓高真空退火設備 1
圖 1
晶圓高真空退火設備 2
圖 2
晶圓高真空退火設備 3
圖 3
晶圓高真空退火設備 4
圖 4
晶圓高真空退火設備 5
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