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產品說明
F.S.流量 N2換算 10SCCM-20SLM (8500)
30SLM-100SLM (8550)
感測器方式 熱式質量流量控制器
閥執行機構 電磁常閉
閥方式 提升閥
控制 控制範圍 2%-100%F.S
應 答 性 設定±2%F.S.至1秒以內（標準）
精 度 ±1.5%F.S. 以內(±2%F.S. 8550)
再 現 性 ±0.2%F.S. 以內(±1.5%F.S. 8550)
壓力 耐 壓 0.98Mpa
動作差壓 49Kpa-294Kpa
低 差 壓
選 購 件 2-149KPa
溫度 使用溫度 0℃-50℃
精 度 保
證 溫 度 15℃-35℃
濕度 容 許 動
作 濕 度 10% -90% （無結露）
報警事件 輸 出 數 報警輸出：1事件輸出：1
（開路集電極輸出 Max35V:50mA）
分辨能力 最高分辨能力1mV（1digit）
通信 通信形式 RS232C（多項）/RS485：通信速度9600bps
電源 所需電源 DC+15（±5%）100mA,DC-15(±5%)200mA
連接氣體部分材料 SUS316L，SUS316，PTFE，氟橡膠，氯丁橡膠（選購）
接 頭 9/16-18UNF，1/4Rc，1/4S SWLTM，1/4VCRTM
安 裝 姿 態 無指定
重量 普通：1000g
特規：（900g）
顯示 方 法 7節LED4位元數字 整體展示：0000-9999
準確性 ±0.1%