主要技術參數
測量範圍:
0-972mm
滑杆行程:
600mm
分辨率:
0.0001mm
精度(20℃):
(1.1+0.6L/600)um
垂直度:
5um
直線度:
4um
重複精度:
平面:0.4um
孔:0.9um
量測感應力:
1N
測頭移動方式:
電動/手動
浮動方式:
氣浮